真空・常圧雰囲気焼結炉（ＦＶＳシリーズ）
抵抗加熱式 ＦＶＳ－Ｒ
◆タンク形状には、通常の横丸型、角型のほかに、
当社独特の「前割り型」（縦置き・前 扉方式）を採用し、
試料の装填、取出しが容易でメンテナンス性にも優れています。
◆最高2500℃までの高温に対応
◆6.65×10-4Paまでの高真空の製作実績があります。
◆製品品質にとって重要な炉内温度の均一性を高めるための手法や
温度勾配を実現する手法として、ゾーン加熱、熱損失防止などに
多数の実績があります。 ±２℃の均熱の製作実績あり
（但し、他の加熱条件、試料の種類など諸条件に依ります）。
◆ヒーター、断熱材は均熱性に優れたグラファイト製を基本にしています。
焼結条件に応じてモリブデンなどの金属ヒータも使用しています。
◆冷却方式：熱交換機とファンを組み合わせて
焼結後の試料冷却速度を高めます。
◆脱脂：バインダを昇華させ回収します。
◆連続式の設計・製作も多数実績がありますので、ご相談下さい。
＜導入例＞
石英の成形炉、シリコンの反応焼結炉、熱電素子の焼成炉、
SiCなどファインセラミックス研究炉、ＭＩＭ炉、
ＣＶＤ装置、脱脂炉
| FVS-R-350/500 FRET-80 |
FVS-R-1000/1000/1200 FRET-1350 |
FVS-R-1500/4400 FRET-350 ×3 |
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| 炉内有効寸法 | φ350×500H | φ900×1100×600H | φ1500×4400H |
| 温度 | MAX 2300℃ NOR 2200℃ |
MAX 2300℃ NOR 2200℃ |
MAX 2500℃ NOR 2200℃ |
| 均熱 | ±10℃ | ±10℃ | ±15℃ |
| 到達真空度 | 1×10-3 Pa | 1×10-1 Pa | 6.65×10-1 Pa |
| 加熱出力 | 80kW | 225kW | 1050kW |
| タンク形状 | 縦丸型 | 角型 | 前割型 |
FVS-R（横丸型） FVS-R（角型）
ＦＶＳ－Ｉ（誘導加熱式）
◆最高3200℃までの高温に対応できます。
◆タンク形状は丸型でφ800×1000H(mm)の炉内有効寸法の実績があります。
＜導入例＞
黒鉛化炉、ＣＶＤ炉 など
| FVS-I-800/1600 FTH-450-0.5H |
FVS-I-460/300 FTH-200-1VH |
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| 有効加熱寸法 | φ800×1600H | φ460×300H |
| 温度 | MAX 1750℃ |
MAX 3200℃ |
| 均熱 | ±15℃ | ±40℃ |
| 到達真空度 | 13.3Pa | 6.65×10-2 Pa |
| 加熱出力 | 450kW | 200kW |
| タンク形状 | 縦丸型 | 縦丸型 |
