PRODUCT 製品紹介

真空・常圧雰囲気焼結炉(FVS シリーズ)

電気をエネルギー源とした工業加熱装置です。
溶解、焼結、焼成、ホットプレスなど、様々な業種で必要とされる熱加工方法に対応できます。
特に金属溶解、ファインセラミックスの焼成、石英の熱処理には豊富な実績があります。

設計、製作、据付、調整・試運転、メンテナンスまでを、自社で一貫して責任をもって行います。

FVS-R 抵抗加熱式

主な特徴

タンク形状には、通常の横丸型、角型のほかに、当社独特の「前割り型」(縦置き・前扉方式)を採用し、試料の装填、取出しが容易でメンテナンス性にも優れています。

  • 最高2500℃までの高温に対応
  • 6.65×10-4Paまでの高真空の製作実績があります。
  • 製品品質にとって重要な炉内温度の均一性を高めるための手法や温度勾配を実現する手法として、ゾーン加熱、熱損失防止などに多数の実績があります。
    ±2℃の均熱の製作実績あり(但し、他の加熱条件、試料の種類など諸条件に依ります)。
  • ヒーター、断熱材は均熱性に優れたグラファイト製を基本にしています。
    焼結条件に応じてモリブデンなどの金属ヒータも使用しています。
  • 冷却方式:熱交換機とファンを組み合わせて焼結後の試料冷却速度を高めます。
  • 脱脂:バインダを昇華させ回収します。

連続式の設計・製作も多数実績がありますので、ご相談下さい。

  • FVS-R 前割型
    FVS-R 前割型
  • FVS-R 前割型(扉開)
    FVS-R 前割型(扉開)

導入例

石英の成形炉、シリコンの反応焼結炉、熱電素子の焼成炉、SiCなどファインセラミックス研究炉、MIM炉、CVD装置、脱脂炉

仕様例

FVS-R 抵抗加熱式

  FVS-R-350/500
FRET-80
FVS-R-1000/1000/1200
FRET-1350
FVS-R-1500/4400
FRET-350 ×3
炉内有効寸法 φ350×500H H1000×W1000×1200L φ1500×4400H
温度 MAX 2300℃
NOR 2200℃
MAX 2300℃
NOR 2200℃
MAX 2500℃
NOR 2200℃
均熱 ±10℃ ±10℃ ±15℃
到達真空度 1×10-3 Pa 1×10-1 Pa 6.65×10-1 Pa
加熱出力 80kW 1350kW 1050kW
タンク形状 縦丸型 縦丸型 前割型
  • FVS-R(横丸型)
    FVS-R(横丸型)
  • FVS-R(角型)
    FVS-R(角型)

FVS-I 誘導加熱式

主な特徴

  • 最高3200℃までの高温に対応できます。
  • タンク形状は丸型でφ800×1000H(mm)の炉内有効寸法の実績があります。

導入例

黒鉛化炉、CVD炉 など

仕様例

FVS-I 誘導加熱式

  FVS-I-800/1600
FTH-450-0.5H
FVS-I-460/300
FTH-200-1VH
有効加熱寸法 φ800×1600H φ460×300H
温度 MAX 1750℃ MAX 3200℃
灼熱 ±15℃ ±40℃
到達真空度 13.3Pa 6.65×10-2 Pa
加熱出力 450kW 200kW
タンク形状 縦丸型 縦丸型

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